Giải pháp giám sát độ dày trong quá trình Phủ mạ chân không (INFICON)

Đối với các ngành công nghiệp công nghệ cao như lĩnh vực mạ chân không, phủ quang học cho màn hình tivi, điện thoại, lens ... thì yêu cầu đo và giám sát độ dày lớp phủ, mạ là rất quan trọng để đảm bảo chất lượng đồng đều giữa các sản phẩm khi xuất xưởng.
Dòng thiết bị thường dùng cho yêu cầu này như Thin Film Deposition của INFICON, tiêu biểu như:

• IC6 Thin Film Deposition Controller
• Cygnus® 2 Thin Film Deposition Controller
• XTC/3 Thin Film Deposition Controller
• SQC-310 Thin Film Deposition Controller
• IQM-233 Thin Film Deposition Controller PCI-Express Card
• Guardian™ EIES Controller

Kết hợp với thiết bị trên là các tinh thể thạch anh Quartz Crystal Sensors được bố trí ở trong của hệ thống phủ mạ chân không để thực hiện yêu cầu giám sát quá trình phủ:

• Front Load Single Sensor
• Front Load Dual Sensor
• Cool Drawer Single Sensor
• Cool Drawer Dual Sensor
• UHV Bakeable Sensor
• ALD Sensor
• Sputtering Sensor
• CrystalSix® Sensor
• Crystal 12® Sensor
• RSH-600 Rotary Sensor
• QCM Sensor Feedthroughs

Toàn bộ các thiết bị này được phối hợp với nhau một cách hiệu quả để đảm bảo sản phẩm sau quá trình phủ quang học sẽ có chất lượng tốt nhất và ổn định nhất.
Đóng góp cho quá trình đó, không thể không nhắc tới chất lượng của tinh thể thạch anh Quartz Crystals, nó gồm có các loại như sau:
6 MHz INFICON Crystals 0.550 in. (14 mm) diameter, 10 crystals per pkg
008-010-G10 6 MHz Gold, in clean-room compatible dispenser
008-009-G10 6 MHz Silver, in clean-room compatible dispenser
750-679-G1 6 MHz Alloy, in clean-room compatible dispenser
750-1000-G10 6 MHz Gold, in flat-pack carousel dispenser
750-1001-G10 6 MHz Silver, in flat-pack carousel dispenser
750-1002-G10 6 MHz Alloy, in flat-pack carousel dispenser
SPC-1093-G10 6 MHz Gold, in compact box
750-1014-G10 6 MHz Silver, in compact box
750-1015-G10 6 MHz Alloy, in compact box
SPC-1157-G10 6 MHz Gold, THERMAL SHOCK, in clean-room compatible dispenser
SPC-1194-G10 6 MHz Gold, THERMAL SHOCK, in flat-pack carousel dispenser
5 MHz INFICON Crystals 0.550 in. (14 mm) diameter, 10 crystals per pkg
750-225-G2 5 MHz Gold, in clean-room compatible dispenser
750-226-G2 5 MHz Silver, in clean-room compatible dispenser
750-678-G1 5 MHz Alloy, in clean-room compatible dispenser
750-1005-G10 5 MHz Gold, in flat-pack carousel dispenser
750-1006-G10 5 MHz Silver, in flat-pack carousel dispenser
750-1007-G10 5 MHz Alloy, in flat-pack carousel dispenser
750-1016-G10 5 MHz Gold, in compact box
750-1017-G10 5 MHz Silver, in compact box
750-1018-G10 5 MHz Alloy, in compact box
6 MHz Crystals 0.550 in. (14 mm) diameter, 10 crystals per pkg
DBM Co., Ltd hiện đang là đại diện ủy quyền hãng INFICON (Việt Nam), để được tư vấn thêm vui lòng liên hệ Mr. Tuấn - 0976 974 726